一.臭氧发生器按其原理可分为：1.电晕放电式；2.电解式；3.紫外照射式；4.核辐射式。应用最广泛的是电晕放电式臭氧发生器。它由臭氧管、臭氧电源，气源装置及电控装置组成。

二.电晕放电式臭氧发生器按电极的制造材料（通常指介电材料）可以分为：膜介质,玻璃，陶瓷，搪瓷，云母等。应用最广泛的材料是玻璃，玻璃介电体适合大型及中小型臭氧发生器。但玻璃介电体机械强度差现已陆续被其他材料替代。搪瓷介电体在大型臭氧发生器用应较多，它的特点是介质于电极于一体结构紧凑，机械强度高，臭氧产率大等特点，是高档臭氧设备中较为优良的材料。

　　三.臭氧发生器按运行频率可分为：1.工频臭氧发生器（工作频率50-60Hz)；2.中频臭氧发生器（工作频率600-800Hz)；3.高频臭氧发生器（1KHz-20KHZ）。高频臭氧发生器运行效率高节约电能，现已陆续取代工频和中频高能耗臭氧发生器。

　　四.臭氧发生器按臭氧发生量通常可分为：小型（臭氧产量100g/h以下），中型（臭氧产量100g/h-1000g/h)，大型（臭氧产量1Kg/h以上）。

　　五.臭氧发生器按冷却方式可分为：水冷式，风冷式，风水双冷式，油冷式，油水双极液冷式。小型低浓度臭氧发生器通常采用风冷；大中型臭氧发生器基本采用水冷；臭氧浓度高的发生器采用双极冷却。

　　六.臭氧发生器按结构形式可分为：管式，板式，立式，卧式。小型臭氧发生器通常为管式或板式，中型臭氧发生器大多采用多管并联，大型臭氧发生器基本以卧式为主（内部由若干只电极组成）。