1.使用高介电常数的材料制造电极，提高加工精度。
2.改善冷却条件，采用水冷或双极冷却。 3.降低气源露点，提高气源洁净度。 4.提高臭氧电源的驱动频率，降低电耗。 5.采用智能控制，并对运行工况再线监测。
