半导体、集成电路生产的工业风淋室的特点
由于大规模和超大规模集成电路的工艺要求,为得到高纯度的硅材料,原料和中间媒介的高纯度和生产环境的洁净度成为影响产品品质量的一个突出问题。加工环境的洁净度由多方面的因素决定,因素之一进入洁净的人员,工作人员净化设备为风淋室,风淋室是经高效过滤器过滤的洁净空气从喷嘴喷出,吹落工作服上的灰尘,含尘空气经粗效过滤器被风机吸入,加压后流过高效过滤器再从喷嘴喷出,如此循环。风淋室都装有定时装置,工作人员按压启动按钮后,即可进入QS风淋室并关门吹淋,20~40s后风淋自动停止。
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资料整理青岛圣洁净化风淋门