如何控制洁净室正压?
1)洁净室必须维持一定的正压。 不同等级的洁净室以及洁净区
与非洁净区之间的静压差,应不小于0.5毫米水柱;洁净区与室外的静压差,不
应小于1.0毫米水柱。
2) 洁净室风淋维持不同的正压值所需的正压风量,宜按下式计算:
Q=a.∑(q.L) (5.2.2)
式中Q一维持洁净室正压值所需的正压风量(立方米/时),
a一根据围护结构气密性确定的安全系数,可取l.l-l.2;
q一当洁净室为某一正压值时,其围护结构单位长度缝隙的渗漏风量(立方
米/时·米);
L一围护结构的缝隙长度(米)。
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