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  如何控制洁净室正压? 

如何控制洁净室正压?


 

如何控制洁净室正压?

 

1)洁净室必须维持一定的正压。 不同等级的洁净室以及洁净区

与非洁净区之间的静压差,应不小于05毫米水柱;洁净区与室外的静压差,不

应小于10毫米水柱。

2) 洁净室风淋维持不同的正压值所需的正压风量,宜按下式计算:

Qa∑(qL) 522

式中Q一维持洁净室正压值所需的正压风量(立方米/时),

a一根据围护结构气密性确定的安全系数,可取lll2

q一当洁净室为某一正压值时,其围护结构单位长度缝隙的渗漏风量(立方

米/时·米);

L一围护结构的缝隙长度(米)。

 

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