为什微电子工业要使用风淋室
微电子工业是当前对洁净室要求最高的行业。大规模和超大规模集成电路(LSI\VLSI)的发展,对微尘控制要求越来越高。风淋室特点
1、采用更适合洁净室原理的圆弧转角,
2、风淋室净化级别:静态千级;
3、内底板为砂光不锈钢板;
4、风淋室有隔板高效过滤器,过滤效率为:99.99%0.5um,确保净化级别;
5、风淋室全自动红外感应吹淋,进口AUTOnise红外感应器,正泰中间继电器,软键触按式时间继电器,LED 显示及设置吹淋时间,范围在0-99s可调,吹淋时风淋室双门自动锁闭;平常只能打开其中一扇门,由入口进入洁净区时红外线感应后自动吹淋,由洁净区出去时经过风淋室不吹淋以节省能源;
6、风淋室配12个多角度可调全不锈钢喷嘴,左右双侧吹淋;外转子大风量低噪风淋室风机,面风速大于25m/s,确保能让风吹到货物上达到18m/s,符合国家标准;
7、风淋室采用液晶时间显示,风淋时间为0~99S可调,并显示已风淋时间;
8、采用独特的空气清新功能系统,对长期封闭的风淋室&风淋室通道内产生的异味进行切底的消除
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