电子工业洁净无尘室的概述
1)洁净室是指将一定空间范围内的空气中的微粒子、有害空气、细菌等污染物排除,并将室内的温度、洁净度、室内压力、气流速度与气流分布、噪声振动及照明、静电控制在某一需求范围内,而所给予特别设计的房间。
2)不论外在的空气条件如何变化,其室内均能具有维持原先所设定要求的洁净度、温湿度及压力等性能的特征
3)洁净室技术包括空气净化风淋、建筑装饰、玷污物发散源的控制,以及消除静电和防微振。
4)洁净室最主要的作用在于控制产品(如硅芯片等)所接触的大气的洁净度,以及温度、湿度,使产品能在一个良好的环境空间中生产、制造