电子工业空气洁净度等级
等 级
每立方米(每升)空气中
≥0.5微米尘粒数
≥5微米尘粒数
100 级
≤35×100(3.5)
1000 级
≤35×1000(35)
≤250(0.25)
10000 级
≤35×10000(350)
≤2500(2.5)
100000 级
≤35×100000(3500)
≤25000(25)
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