洁净室正压控制
1）条洁净室必须维持一定的正压。不同等级的洁净室以及洁净区与非洁净区之间的静压差，应不小于4.9Pa，洁净区与室外的静压差，应不小于9.8Pa。
2）洁净室维持不同的正压值所需的正压风量，宜按下式计算：
Q＝q1·Σ（q·L） （5.2.2）
式中 Q––维持洁净室正压值所需的正压风量(米3/时)；
a––根据围扩结构气密性确定的安全系数，可取1.1～1.2；
q––当洁净室为某一正压值时，其围护结构单位长度缝隙的渗漏风量(米3/时·米)；
L––围扩结构的缝隙长度(米)。
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