无尘室缓冲与隔离
无尘室的压差控制是防止污染物渗入或逸出无尘室的重要措施,但是当需要的压差值太大、不容易达到时,就要加设辅助设施。常用的辅助设施有缓冲室、气闸室、气幕室和风淋室。辅助设施也称为缓冲设施,其作用是防止将室外污染物带入室内,或者减少室内污染物发生量。当人或物从非洁净区进入洁净区时,应通过缓冲设施。
(1) 气闸室 设置在无尘室出入口、阻隔室外或邻室污染气流和压差控制的小室叫气闸室。气闸室的几个门,在同一时间内只能打开一个,这样做是为了防止外部受污染的空气流入洁净室内。当两侧需要的压差太大且难达到时,可以设置气闸室。
(2) 缓冲室 缓冲室是位于洁净室入口处的小室。同气闸室一样,缓冲室的几个门,在同一时间内只能打开一个。
(3) 风淋室 风淋室利用喷嘴喷出的高速气流使衣服抖动起来,从而把衣服表面沾的尘粒吹掉。它通常设置在洁净室的人员入口处
(4) 传递窗 设置在不同级别的洁净区,以及洁净区和非洁净区之间的隔墙上,可以防止两洁净区之间物体流经过非洁净区时被污染。
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