洁净室及洁净区空气中悬浮粒子洁净度等级
空气洁净度等级N 大于或等于表中粒径的最大浓度限值(pc/m3)
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0.1um |
0.2um |
0.3um |
0.5um |
1um |
5um |
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1 |
10 |
2 |
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2 |
100 |
24 |
10 |
4 |
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3 |
1000 |
237 |
102 |
35 |
8 |
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4 |
10000 |
2370 |
1020 |
352 |
83 |
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5 |
100000 |
23700 |
10200 |
3520 |
832 |
29 |
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6 |
1000000 |
237000 |
102000 |
35200 |
8320 |
293 |
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7 |
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352000 |
83200 |
2930 |
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8 |
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3520000 |
832000 |
29300 |
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9 |
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35200000 |
8320000 |
293000 |
注：1.每个采样点应至少采样3次
2.本标准不适用于表征悬浮粒子的物理性、化学性、放射性
3.根据工艺要求确定1-2种粒径
该文章出自青岛圣洁净化
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