什么是AMC?

     危害生产工艺并因此导致成品率降低的空气中的分子态化学物质，称为“分子级污染物”（或气载分子污染物），英文简称“AMC”。 AMC包括空气中的多种有害气体和金属离子。国际半导体技术与材料协会（SEMI）根据AMC的化学性质以及对生产工艺的危害，对其分为四类：酸性(MA)﹑ 碱性(MB), 可凝性(MC)和掺杂性(MD)。（1）酸性AMC ：能够接受电子（受主）的化学腐蚀性气相物质。如氟化氢（HF），二氧化硫（SO2）等。（2）碱性AMC：能够施于电子（施主）的化学腐蚀性气相物质。如氨气（NH3），六甲基二硅醚（HMDSO）等。（3）可凝性AMC：常温常压下，能够在干净表面（如硅片）凝结的气相物质。如硅烷，二丁基甲酚（BHT）,大分子碳氢化合物等。（4）掺杂性AMC：能够改变半导体材料导电性的化学物质。如硼（B）,磷(P)等。HEPA高效过滤器和ULPA超高效过滤器

    HEPA 是英语high efficiency particle air filter的缩写形式，ULPA是英语 ultra low penetration air filter的缩写形式。

    根据EN1822 分级，HEPA分为五个等级，即H10﹑H11﹑H12﹑H13和H14；ULPA分为三个等级，即U15﹑H16和H17。HEPA和ULPA过滤器是洁净室的心脏，所以要保证洁净室的洁净度，要对过滤器进行逐台扫描检测，下表是不同等级过滤器对效率的最低要求。例如H13对MPPS的最低效率为99.95%，一般记作：效率 99.95% at MPPS风淋 , 这与“效率 99风淋室 .shengjie-jh.cn">风淋门.95% at 0.12 ”或“效率 99.95% at 0.3 ”完全不同，因为0.12 或0.3 不一定是该过滤器的最易穿透粒径，对于HEPA 高效过滤器和ULPA超高效过滤器，一定要知道该过滤器的“最易穿透粒径MPPS”是多少。