我国电子信息产业将持续发展,国内企业必须做好依靠精品工程获取利润的准备。由碧海永乐设计并建造的清溢TFT-LCD掩模版项目就是最好的例证。该项目洁净室空气洁净度等级为1级(美联邦标准FS209,相当于国际标准ISO3级)和10级(美联邦标准FS209,相当于国际标准ISO4级),且面积达到800平方米。该工程不仅洁净度要求较高,同时对温度、相对湿度、防微振、防静电等相关参数的要求也远远超出一般设计要求,对设计人员的设计水平是一个严峻的挑战。
为了满足高级别洁净度的要求,在设计、建造过程中,碧海永乐坚持科技领先、创新工艺设计。针对空气过滤,采用了空气净化系统6级过滤流程——— 初效、中效、化学、中效、高效、超高效(终端),实践证明行之有效。在ISO3级和ISO 4级洁净室,断面风速采用0.35m/s,结果证明气流组织合理。在项目设计、建设过程中,工程人员还引入了国际理念,在国内首次采用《洁净室与相关受控环境》性能及合理性评价准则,对洁净室的全过程进行控制,达到了预期效果。行业专家认为,该项目洁净室HVAC系统(MAU+FFU+DC)合理可行。经美国专业公司采用国际标准测试,该项目洁净室温度、相对湿度、洁净度、压力梯度等洁净室主要参数均达到TFT-LCD掩模版工艺生产要求。
中国洁净室设计建造水平的掩模版制造考验
2007年11月28日,备受国内外洁净室建造界关注的“中国第一洁净室”——— 清溢精密光电TFT掩模版项目正式竣工。这标志着我国1级、10级洁净室设计建造不能完全独立完成的历史的结束,充分展示了我国洁净室建设的超高水平。该项目是第一家由国内净化公司独立完成设计、施工的1级净化项目,标志着我国已拥有国际洁净室设计建造的最先进水平。 |