6. 结构物与隔间之气密性。 （Clean Room）
「洁净室」是指将一定空间范围内之空气中的微粒子、有害空气、细菌等之污染物排除，并将室内之温度、洁净度、室内压力、气流速度与气流分布、噪音振动及照明、静电控制在某一需求范围内，而所给予特别设计之房间。 （Clean Spot）
1. 能除去空气中飘游之微尘粒子。
5. 有害气体之排除。
（一）洁净室之定义
洁净室，亦称为无尘室或清净室。
2. 能防止微尘粒子之产生。
（3）隔墙板（Partitional wall）：包括窗户、门。因产品和功课员及发尘环境相互隔离，少量之送风即可得到良好之洁净度，可节省能源，不需人工的自动化出产线为最相宜使用。
洁净室内的工作桌等障碍物，在相接处均会有涡流现象发生，相对地在其四周之洁净度将会较差，在工作桌面钻上回风孔，将使涡流现象减少最低；组装材料之选择是否恰当、设备布局是否完善，亦为气流是否成为涡流现象之重要因素。
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（五）洁净室气流之活动
洁净室的洁净度往往受到气流的影响，换言之，即人、机器隔间、建筑结构等所产生的尘埃之移动、扩散受到气流的支配。
另一方面欲达到洁净室洁净度之不乱效果，均一气流之保持亦为一重要因素，均一气流若无法保持，表示风速有异，特别是在壁面，气流会延着壁面发生涡流作用，此时要实现高洁净度事实上很难题。另外若系统休止运转再激活，欲达需求之洁净度，往往须耗时相称长一段时间。
一般操纵台或出产设备等表面的气流分流点，应设于洁净室空间与隔墙板间距2/3之处，如斯可使功课职员工作时，气流可从制程区内部流向功课区，而将微尘带走；若分流点配置在制程区前方，将成为不当的气流分流，此时大部份的气流将流至制程区之后，功课员操纵所引起的尘埃将被带到设备后面，工作台因而将受到污染，良率也势必降低。
缺点：乱流造成的微尘粒子于室内空间飘浮不易排出，易污染制程产品。此型式合用于洁净室等级1,000-100,000级。
（2）洁净管道（Clean Tube）：将产品流程经由的自动出产线包抄并净化处理，将洁净度等级提至100级以上。然而洁净室内除了人以外，尚有机器等之发尘源，这些发生的尘埃一旦扩散，即无法保持洁净空间，因此必需利用气流将发生的尘埃迅速排出室外。
209E与209D等最大之不同在于209E表示单位增加了公制单位，洁净室等级以‵M′字头表示，如M1、M1.5、M2.5、M3…..依此类推，配合国际公制单位之尺度化，M字母后之阿拉伯数量字是以每立方公尺中>=0.5μm之微尘粒子数量字以10的幂次方表示，取指数为之，若微尘粒子数介于前后二者完全幂次方之间，则以1.5、2.5、3.5….表示。速渡过低或过高（0.2m/s，0.7m/s）均有涡流之现象发生，而0.5m/s之速度，气流则较均一，目前一般洁净室，其风速均取在0.25~0.5m/s之间。
洁净地道另有二项长处：A.弹性扩充轻易； B.维修设备时可在维修区等闲执行。
（5）照明用具：包括日光灯、黄色灯管等。
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3.复合式（Mixed Type）：
复合式为将乱流式及层流式予以复合或并用，可提供局部超洁净之空气。
垂直层流式方向要保持均一气流必需：（a）吹出头具名的风速不可有速度上的差异；（b）地板回风板吸入面之风速不可有速度上的差异。 （HEPA）
长处：构造简朴、系统建造本钱，洁净室之扩充比较轻易，在某些特殊用途场所，可并用无尘工作台，进步洁净室等级。
10. 节能之考量。
洁净室内的气流是左右洁净室机能的重要因素，一般洁净室的气流速度是选0.25~0.5m/s之间，此气流速度属轻风区域，易受人、机器等的动作而干扰趋于混乱、虽进步风速可按捺此一扰乱之影响而保持洁净度、但因风速的进步，将影响运转本钱的增加，所以应在知足要求的洁净度水准之时，能以最适当的风速供给，以达到适当的风速供赐与达到经济性效果。
美国联邦尺度FS 209D都以英制每立方英呎为单位，日本则是采用公制，即以每立方公尺为单位，以0.1μm微粒子为计数尺度。日本尺度之表示法以Class 1，Class 2，Class 3……Class8表示，最好的等级为Class 1，最差则为Class 8，以每立方公尺中微尘粒子总数中化为10的幂次方，取其指数而得。此型式需将功课职员之工作区与产品和机器维修予以隔离，以避免机器维修时影响了工作及品质，ULSI制程大都采用此种型式。
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（二）洁净室之等级
世界各国均有自定规格，但普遍仍是用美国联邦尺度209为多，以下仅就209D及209E和世界上其它各国制定尺度作先容与相互比较。亦等于不论外在之空气前提如何变化，其室内均能俱有维持原先所设定要求之洁净度、温湿度及压力等机能之特性。
（2）垂直层流式：房间天花板完全以ULPA过滤器笼盖，空气由上往下吹，可得较高之洁净度，在制程中或工作职员所
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产生的尘埃可快速排出室外而不会影响其它工作区域。气流非直线型运动而呈不规则之乱流或涡流状态。
（3）并装局部洁净室：将洁净室等级10,000~100,000之乱流洁净室内之产品制程区的洁净度等级进步为10~1000级以上，认为出产之用；洁净工作台、洁净工作棚、洁净风柜即属此类。
（1）洁净地道（Clean Tunnel）：以HEPA或ULPA过滤器将制程区域或工作区域100%笼盖使洁净度等级进步至10级以上，可节省安装运转用度。
洁净室最主要之作用在于控制产品（如硅芯片等）所接触之大气的洁净度日及温湿度，使产品能在一个良好之环境空间中出产、制造，此空间我们称之为「洁净室」。 ?
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2.层流式： （Laminar）
层流式空气气流运动成一平均之直线形，空气由笼盖率100%之过滤器进入室内，并由高架地板或两侧隔墙板回风，此型式合用于洁净室等级需定较高之环境使用，一般其洁净室等级为Class 1~100。
4. 压力之调节。
9. 安全因素之考虑。
（4）地板：包括高架地板或防静电舒美地板。
洁净室之建筑主体构造，一般是用钢筋或骨水泥，但不管是何种构造，必需知足如下之前提：
A.不会因温度变化与振动而发生裂缝；
B.不易产生微尘粒子，且很难附着粒子；
C.吸湿性小；
D.为了维持室内之湿度前提，热绝缘性要高；
